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一种微透镜阵列及其微流控芯片的制作方法及系统

专利（申请）号：2018102507269
专利类型：发明
行业：新型材料
法律状态：已下证
合作方式：专利转让

价格：面议

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专利简介

一种微透镜阵列的制作方法，包括将光刻胶液体与酒精液体交汇于同一输出管道内，光刻胶液体被酒精液体切断形成光刻胶液滴，使用多个输出管道将所述光刻胶液滴均匀滴落在腔体表面形成液滴阵列，待光刻胶液滴完全固化及腔体表面的酒精液体完全蒸发后，得到微透镜阵列。本发明还公开了一种微透镜阵列的制作系统、微流控芯片以及制作方法。采用本发明制作方法可制作大面积微透镜阵列，阵列面积，单个透镜的半径及孔径均可控，从而可以实现不同需求的微透镜阵列。